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DOE (Diffractive Optical Elements)

Diffractive optical element (DOE)는 1um 이하의 두께를 갖는 패턴으로 투과/반사되는 빔을 모양을 변환시켜주는 소자.
Glass/silicon wafer 기판 위에 PR/SiO2를 laser-beam writing, photo lithography 공정으로 노광/식각하여 제작되며, 레이저 빔을 어떤 형태의 모양으로도 변환 가능.

Applications
  • gesture recognition
  • virtual image
  • pattern generation
  • beam shaper
  • beam splitter
  • grating, etc.
일반특성
  • 재료 : Photoresist(PR), Glass, UV resin
  • 크기 : max. 40x40mm
  • 제작 : 반도체공정, imprinting
  • Grating period: 200 nm ~ 2,000 nm
  • Grating fill-factor: 30% ~ 70%
  • Max. pattern size : 50 mm x 50 mm
  • Pattern layer : PR/Glass, PR/Si wafer
  • Substrate : 3~4 inch glass/Si wafer